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- 1-10￥8800 /件
- ≥10￥8500 /件
- 品牌：PBI Performance
- 型号：件
- 货号：2730
- 发布日期： 2026-10-17
- 更新日期： 2026-10-22
| 品牌 | PBI Performance |
| 货号 | 2730 |
| 用途 | 工业应用 |
| 牌号 | (U-Series) U-60SD |
| 型号 | (U-Series) U-60SD |
| 品名 | Celazole |
| 包装规格 | 件 |
| 外形尺寸 | 无 |
| 厂家 | PBI Performance |
| 是否进口 | 是 |
基础物理属性
材料类型：无定形无填充热塑性PBI，无任何碳纤维或玻璃纤维添加
密度：1.3 g/cm³，比石英、陶瓷等传统腔体材料实现显著轻量化
成型方式：仅通过压缩模塑工艺制备，以库存棒材、板材等型材形式供应，便于后续精密机加工
外观：黑色固体型材，无任何填料杂质，整体纯度极高
核心机械性能
拉伸强度：23 kpsi（160 MPa），拉伸模量5900 MPa，刚性与抗形变能力优异弯曲强度：32 kpsi（220 MPa），弯曲模量6500 MPa，可承受长期交变载荷
压缩屈服强度：57 kpsi（390 MPa），10%应变下压缩强度50 kpsi（340 MPa），高压环境下结构稳定性极强
表面硬度：邵氏D 95，洛氏M >125，耐磨性能优异，缺口悬臂梁冲击强度0.28 J/cm，无缺口冲击强度5.9 J/cm
热与环境稳定性
玻璃化转变温度：427℃，无明确熔点，高温下不会快速熔融流变热变形温度（1.8 MPa）：435℃，长期连续工作温度可达370℃
线性热膨胀系数：25-150℃区间仅23 μm/m·℃，200-300℃区间为33 μm/m·℃，高温下尺寸精度保持稳定
极限氧指数：58%，UL94 V-0级阻燃，本身不可燃，热稳定性远超常规工程塑料
热导率（25℃）：0.41 W/m·℃，兼顾隔热与均匀导热特性
超高纯度核心特性
这是该材料最核心的差异化优势：关键金属离子（Fe、Ni、Cr、Cu）典型 含量仅1 ppm，远低于普通工程塑料的杂质水平
几乎无金属离子析出，完全避免半导体制程中的晶圆金属污染风险
极低的释气率，适配高洁净真空环境，不会在腔体内部产生挥发性污染物
电气绝缘特性
体积电阻率：2×10¹⁵ Ω·cm，属于极高绝缘等级介电强度：23 kV/mm，绝缘性能优异
介电常数：1 kHz~0.1 MHz区间稳定在3.3~3.4，介电损耗极低
耐电弧性：185秒，完全避免电弧击穿风险
半导体行业专属应用场景
干法蚀刻腔体的密封环、绝缘支撑组件，替代石英和陶瓷，零件服役寿命延长2倍以上溅射系统、CVD/PVD设备的腔体内定位件、升降顶针，无金属离子污染，大幅提升晶圆良率
氧化物蚀刻腔体的密封件，替代传统石英密封件，显著延长维护周期
高洁净真空环境下的各类绝缘零件、螺丝、衬套，适配纯度敏感的高端半导体制程
Celazole U-60SD作为专为半导体开发的超高纯无填充PBI，核心聚焦高洁净真空、低金属离子析出、强等离子体腐蚀的腔体内工况，在以下几类半导体设备中应用最广泛：
氧化物干法蚀刻设备
这是U-60SD最核心的应用场景，原厂公开数据显示其零件寿命是传统石英/陶瓷的2倍以上。
核心应用零件：蚀刻腔体的主密封环、绝缘支撑组件、腔体内部定位销
核心优势：1ppm级的超低金属离子析出，完全避免晶圆在氧化物蚀刻过程中被金属杂质污染；耐氟基等离子体长期轰击，零件服役寿命从传统石英件的3个月延长至6个月以上，大幅减少腔体维护停机时间
物理气相沉积（PVD）溅射设备
是U-60SD在薄膜沉积类设备中渗透率 的品类，适配各类金属、介质薄膜溅射制程。
核心应用零件：溅射腔体内的晶圆升降顶针、靶材绝缘衬套、腔体内部隔热支撑件
核心优势：极低的释气率适配高真空溅射环境，不会在腔体内释放挥发性杂质影响薄膜纯度；370℃长期耐温性，在连续高温溅射工况下无热变形，零件精度偏差控制在±2μm以内
化学气相沉积（CVD）设备
覆盖从LPCVD、PECVD到ALD的全系列化学气相沉积设备，适配各类高温薄膜沉积制程。
核心应用零件：晶圆承载器的绝缘衬垫、反应腔的密封组件、气体分布板的绝缘支撑件
核心优势：优异的耐化学腐蚀性，耐受各类沉积前驱体气体长期侵蚀；无填料杂质析出，完全避免薄膜生长过程中出现颗粒缺陷，晶圆良率可提升1~2个百分点
高世代面板蚀刻与沉积设备
在大尺寸LCD/OLED面板生产线的高温制程中，U-60SD的应用占比逐年提升。
核心应用零件：面板蚀刻腔体的大型密封件、PVD制程的面板承载治具定位块
核心优势：轻量化特性大幅降低大型治具的传动负载，同时无金属离子析出，避免大尺寸面板出现局部电路击穿不良，治具使用寿命是普通PI材质的6倍以上
其他高洁净腔体内辅助设备
真空传输腔的绝缘螺丝、衬套、定位块，替代传统聚酰亚胺零件，使用寿命延长数倍
等离子清洗机的腔体内绝缘组件，耐受强腐蚀等离子体长期冲刷，减少微颗粒产生
快速热退火（RTP）设备的晶圆支撑钉，在1000℃级短时高温冲击下无变形开裂风险
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