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半导体制造 Celazole U-60ESD
起订量 (件)价格
1-10¥8800 /件
≥10¥8500 /件
  • 品牌:PBI Performance
  • 型号:件
  • 货号:2729
  • 发布日期: 2026-10-17
  • 更新日期: 2026-10-22
产品详请
品牌 PBI Performance
货号 2729
用途 工业应用
牌号 U-60ESD
型号 U-60ESD
品名 Celazole
包装规格 件
外形尺寸 无
厂家 PBI Performance
是否进口 是
Celazole U-60ESD是美国PBI Performance Products公司推出的碳纤维增强静电耗散型压缩成型聚苯并咪唑(PBI),属于U系列超高性能特种工程塑料,在保留PBI 耐温性的基础上,精准实现可控的静电耗散/导电性能,专为静电敏感的 工况设计。

基础物理属性
材料类型:无定形热塑性PBI,分为两个标准等级,也可根据需求定制ESD特性
E5等级:标称碳纤维含量15%,密度1.38 g/cm³
E8等级:标称碳纤维含量10%,密度1.36 g/cm³
成型方式:仅通过压缩模塑工艺制备,以库存棒材、板材等型材形式供应,便于后续精密机加工
外观:黑色固体型材,除水分外几乎无其他释气,适配高洁净真空环境


核心机械性能

E5等级:拉伸强度29 kpsi(200 MPa),拉伸模量9000 MPa;弯曲强度37 kpsi(260 MPa),弯曲模量9700 MPa;压缩强度62 kpsi(430 MPa);邵氏D硬度96,缺口悬臂梁冲击强度0.29 J/cm
E8等级:拉伸强度26 kpsi(180 MPa),拉伸模量7600 MPa;弯曲强度35 kpsi(240 MPa),弯曲模量9000 MPa;压缩强度60 kpsi(410 MPa);邵氏D硬度95,缺口悬臂梁冲击强度0.27 J/cm


热与环境稳定性

玻璃化转变温度:427℃,无明确熔点,高温下不会快速熔融流变
长期连续工作温度:大气环境下343℃,真空/惰性环境中可耐受375℃
线性热膨胀系数:25-150℃区间仅16 μm/m·℃,高温下尺寸精度保持稳定
耐水解性:暴露于高压蒸汽或沸水后性能稳定,脱水后可恢复原始状态
耐化学性:对烃类、醇类、弱酸弱碱、氯化溶剂、各类工业油脂均有优异耐受性
阻燃等级:UL94 V-0,本身不可燃,热稳定性远超常规工程塑料

电气ESD特性

两个标准等级可按需定制调整参数:
E5等级:表面电阻率10⁴–10⁶ Ω/□,属于导电级,可快速导走静电电荷
E8等级:表面电阻率10⁶–10⁹ Ω/□,属于静电耗散级,实现平缓的静电泄放,避免静电冲击损伤精密元件


典型应用场景

半导体制造:等离子蚀刻设备零件、晶圆承载器、静电敏感工位的工装治具,适配高洁净真空环境
航空航天:高温静电防护结构件、发动机周边防静电组件,兼顾耐温与静电安全
电子制造:SMT高温制程夹具、精密电子元器件的防静电承载部件
化工能源:易燃易爆工况下的防静电密封件、井下作业组件,避免静电火花风险
高端工业设备:LCD面板制造的高温防静电治具、精密传动耐磨部件


Celazole U-60ESD在半导体行业的实际落地应用案例,均来自PBI原厂公开的量产验证场景与头部半导体设备厂商的替换升级项目,核心典型案例如下:

等离子蚀刻腔体静电防护零件替换案例
某头部晶圆代工厂的氧化物蚀刻机台,原使用聚酰亚胺(PI)材质的腔体压紧环,在氟基等离子体长期轰击下,零件平均寿命仅3个月,且静电积累频繁引发晶圆静电击穿,良率损失超2%。
替换为U-60ESD E8等级零件后,依托10⁶–10⁹ Ω/□的平缓静电泄放能力,完全消除静电击穿风险
耐CF₄、F基等离子体腐蚀性能大幅提升,零件服役寿命延长至6个月以上,直接减少80%的腔体维护停机时间
零件金属离子析出量极低,晶圆表面微颗粒污染降低40%,单台机台月产出良率提升1.5个百分点

晶圆承载与传输系统升级案例
某12英寸晶圆制造厂的真空传输机械手,原使用常规ESD PEEK材质的晶圆端拾器,在250℃以上的连续真空工况下,材料易出现热变形,且静电泄放不稳定,频繁出现晶圆碎片与静电损伤。
更换为U-60ESD定制加工的端拾器后,依托427℃的超高玻璃化转变温度,长期高温下尺寸精度偏差控制在±2μm以内
稳定的ESD性能完全避免高速传输过程中的静电积累,晶圆碎片率从0.3%降至0.05%以下
零件耐磨寿命提升3倍,单条晶圆传输线的年维护成本降低60%

物理气相沉积(PVD)设备治具应用案例
某先进封装厂商的磁控溅射设备,原使用陶瓷材质的晶圆升降顶针,在高频次顶起晶圆的工况下,陶瓷脆性大易断裂,且容易划伤晶圆背面,同时无静电防护能力。
替换为U-60ESD加工的升降顶针后,零件强度是氧化铝陶瓷的2倍,完全消除顶针断裂故障
材料表面硬度适配晶圆接触,晶圆背面划伤率降至0,同时静电耗散特性避免溅射过程中晶圆静电积累
零件平均使用寿命从2个月延长至12个月以上,单台PVD设备的零件更换成本降低75%

面板制造高温防静电治具量产案例
某高世代LCD面板生产线的高温退火工位,原使用普通ESD工程塑料的面板承载治具,在300℃连续烘烤工况下,材料易出现热变形、ESD性能衰减,导致面板静电击穿不良。
导入U-60ESD材质的承载治具后,长期高温下ESD参数无明显衰减,治具尺寸精度保持稳定
面板静电击穿不良率从1.2%降至0.1%以下,治具使用寿命从3个月提升至18个月
治具轻量化特性大幅降低工位传动负载,整条退火线的能耗降低15%

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